[1]
Van Men Truong, Ngoc Bich Duong 2020. Design and simulation of an out-of-plane electrothermal microactuator. Tạp chí Khoa học và Công nghệ - Đại học Đà Nẵng. 18, 12 (tháng 12 2020), 24–27. DOI:https://doi.org/10.31130/jst-ud2020-086E.