Đinh Thanh Khan*, Nguyen Quy Tuan. (2015). A Study of the curvature of a thick AlN film grown on a trench-patterned α-Al2O3 template using X-ray diffraction. Tạp Chí Khoa học Và Công nghệ - Đại học Đà Nẵng, 12(97.1), 30–32. Truy vấn từ https://jst-ud.vn/jst-ud/article/view/2704