Van Men Truong, Ngoc Bich Duong. (2020). Design and simulation of an out-of-plane electrothermal microactuator. Tạp Chí Khoa học Và Công nghệ - Đại học Đà Nẵng, 18(12), 24–27. https://doi.org/10.31130/jst-ud2020-086E