ĐINH THANH KHAN*, NGUYEN QUY TUAN. A Study of the curvature of a thick AlN film grown on a trench-patterned α-Al2O3 template using X-ray diffraction. Tạp chí Khoa học và Công nghệ - Đại học Đà Nẵng, [S. l.], v. 12, n. 97.1, p. 30–32, 2015. Disponível em: https://jst-ud.vn/jst-ud/article/view/2704. Acesso em: 3 tháng 7. 2024.