Đinh Thanh Khan*, Nguyen Quy Tuan. A Study of the curvature of a thick AlN film grown on a trench-patterned α-Al2O3 template using X-ray diffraction. UD-JST [Internet]. 31 Tháng Chạp 2015 [cited 3 Tháng Bảy 2024];12(97.1):30-2. Available at: https://jst-ud.vn/jst-ud/article/view/2704