Van Men Truong, Ngoc Bich Duong. Design and simulation of an out-of-plane electrothermal microactuator. UD-JST [Internet]. 31 Tháng Chạp 2020 [cited 3 Tháng Năm 2024];18(12):24-7. Available at: https://jst-ud.vn/jst-ud/article/view/3283