Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số công nghệ tới các chỉ tiêu chất lượng bề mặt khi tiện siêu chính xác bề mặt nhiễu xạ hợp kim đồng
Tóm tắt: 0
| 
PDF: 2 
##plugins.themes.academic_pro.article.main##
Author
Từ khóa:
Bề mặt nhiễu xạ
chiều cao bậc
góc sườn
độ nhám bề mặt
sai số quay trục chính
Tóm tắt
Nghiên cứu này đánh giá ảnh hưởng độc lập của các thông số công nghệ gia công và sai số quay trục chính (SE) đến các đặc trưng chất lượng bề mặt mặt nhiễu xạ hợp kim đồng khi tiện siêu chính xác. Một cách tiếp cận mới được đề xuất bằng việc đưa SE vào mô hình như biến đồng phương sai để phân tích định lượng ảnh hưởng của nó cùng với các thông số công nghệ. Kết quả cho thấy các thông số hình học vi cấu trúc và chất lượng bề mặt chịu ảnh hưởng của các thông số công nghệ. Trong đó ảnh hưởng của tốc độ tiến dao tới các chỉ tiêu chất lượng là lớn nhất, sau đó là tốc độ trục chính. Chiều sâu cắt gần như không ảnh hưởng tới độ nhám (Sa), ảnh hưởng nhẹ tới chiều cao bậc (SH) và ảnh hưởng tương đương tốc độ trục chính với góc sườn (SWA). SE không ảnh hưởng đến Sa và SWA, và ảnh hưởng nhỏ tới SH.
Tài liệu tham khảo
-
[1] H. Liu et al., “Recent advances in design and preparation of micro diamond cutting tools”, International Journal of Extreme Manufacturing, vol. 6, Art. no. 062008, 2024. doi: 10.1088/2631-7990/ad770d.
[2] P. Song et al., “High-precision turning and ultra-smooth direct polishing of aluminum alloy mirrors”, Optics Express, vol. 31, no. 19, pp. 30340–30358, 2023. doi: 10.1364/OE.495779.
[3] S. Fujii, Y. Hayama, K. Imamura, H. Kumazaki, Y. Kakinuma, and T. Tanabe, “All-precision-machining fabrication of ultrahigh-Q crystalline optical microresonators”, Optica, vol. 7, no. 6, pp. 694–701, 2020. doi: 10.1364/OPTICA.394244.
[4] K. Li, C. Wang, and F. Gong, “The filling ratio and surface roughness evolution of glass array lens in precision glass molding”, Nanomanufacturing and Metrology, vol. 8, Art. no. 2, 2025. doi: 10.1007/s41871-025-00250-3.
[5] F. Ding, X. Luo, W. Chang, and Z. Wang, “In situ measurement of spindle radial and tilt error motions by complementary multi-probe method”, Nanomanufacturing and Metrology, vol. 2, pp. 225–234, 2019. doi: 10.1007/s41871-019-00051-5.
[6] S. J. Zhang, J. J. Yu, S. To, and Z. W. Xiong, “A theoretical and experimental study of spindle imbalance induced forced vibration and its effect on surface generation in diamond turning”, International Journal of Machine Tools and Manufacture, vol. 133, pp. 61–71, 2018. doi: 10.1016/j.ijmachtools.2018.06.002.
[7] P. Huang, W. B. Lee, and C. Y. Chan, “Investigation of the effects of spindle unbalance induced error motion on machining accuracy in ultra-precision diamond turning”, International Journal of Machine Tools and Manufacture, vol. 94, pp. 48–56, 2015. doi: 10.1016/j.ijmachtools.2015.04.007.
[8] L. Zhang, J. Zha, Z. Wu, and Y. Chen, “Surface finish improvement during single point diamond turning based on in-situ balancing of the spindle with CNC controller”, in Proceedings of the 22nd International Conference & Exhibition of the European Society for Precision Engineering and Nanotechnology (euspen), Geneva, Switzerland, May/Jun. 2022.
[9] S. Ohishi and Y. Matsuzaki, “Experimental investigation of air spindle unit thermal characteristics”, Precision Engineering, vol. 26, pp. 49–57, 2002.
[10] A. Kowalik, K. Góra, Z. Jaroszewicz, and A. Kołodziejczyk, “Multi-step electron beam technology for the fabrication of high performance diffractive optical elements”, Microelectronic Engineering, vol. 77, pp. 347–357, 2005. doi: 10.1016/j.mee.2004.12.036.
[11] Z. Ma, F. Kang, and H. Wang, “The impact of fabrication errors of double-layer BOE on diffraction efficiency”, in AOMATT 2016: Design, Manufacturing, and Testing of Micro- and Nano-Optical Devices and Systems; and Smart Structures and Materials, China: Proceedings of SPIE, 2016, Art. no. 96850H. doi: 10.1117/12.2242497.
[12] H. Ye, J. Zhang, S. Tan, S. Zhao, M. Liu, and X. Zhang, “Analysis and prediction of effect of turning marks diffraction on image quality of optical system”, Optics and Photonics Journal, vol. 13, pp. 97–108, 2023. doi: 10.4236/opj.2023.136008.
[13] X. Zhang et al., “Diffraction efficiency restoration method for a single-plane diffractive element considering machining errors”, Optics Express, vol. 33, no. 10, pp. 21339–21353, May 2025. doi: 10.1364/OE.563576.
[14] H. Vogt, R. Biertümpfel, and E. Pawlowski, “Diffractive optical elements fabricated for beam shaping of high-power diode lasers”, in High-Power Diode Laser Technology and Applications VI, San Jose, CA, USA: Proceedings of SPIE, vol. 6876, Art. no. 687617, 2008. doi: 10.1117/12.763734.
[15] H. Hocheng and M. L. Hsieh, “Signal analysis of surface roughness in diamond turning of lens molds”, International Journal of Machine Tools and Manufacture, vol. 44, pp. 1607–1618, 2004. doi: 10.1016/j.ijmachtools.2004.06.003.
[16] J. Liu, S. Wang, Y. Huo, Q. Zhao, X. Wang, and J. Zhang, “An investigation of ultra-precision manufacturing methods in generating functional rectangular microstructures on the polymer material of polyimide”, Journal of Materials Research and Technology, vol. 33, pp. 8903–8917, 2024. doi: 10.1016/j.jmrt.2024.11.216.
[17] M. Raza, Z. Alam, and A. D. Udai, “ISO Standardized Form Removal and Filtering of Surface Texture for Areal Surface Roughness Measurement Using Zygo Mx,” MAPAN - Journal of the Metrology Society of India, vol. 40, no. 4, pp. 937–942, 2025. doi: 10.1007/s12647-025-00844-8.
Xem thêm
##plugins.themes.academic_pro.article.sidebar##
Đã Xuất bản
May 31, 2026
Download
Cách trích dẫn
Hoa, B. K., D. X. Bien, N. V. Toan, N. K. Hung, L. V. Nhu, và P. V. Toan. “Nghiên cứu ảnh hưởng của các thông số công nghệ tới các chỉ Tiêu chất lượng bề mặt Khi tiện Siêu chính xác bề mặt nhiễu Xạ hợp Kim đồng”. Tạp Chí Khoa học Và Công nghệ Đại học Đà Nẵng, vol 24, số p.h 5A, Tháng Năm 2026, tr 110-6, doi:10.31130/ud-jst.2026.24(5A).120E.
