Chế tạo và kiểm tra đặc điểm của thanh mềm công xôn ở kích thướt micro

Tóm tắt

Thanh mềm công xôn đã trở thành một cấu trúc phổ biến được sử dụng trong nhiều hệ thống vi cơ điện tử (MEM). Ví dụ, thanh công xôn áp điện được gắn vào cảm biến áp suất do Memscap sản xuất hoặc được sử dụng rộng rãi trong máy phát điện MEMs, nhằm thu năng lượng từ rung động. Trong bài báo này, thanh công xôn được thiết kế và chế tạo trên các tấm silicon. Phần mềm L-Edit dùng để thiết kế hai mặt nạ cho bước phơi sáng. Quá trình chế tạo bao gồm quang khắc, bay hơi nhiệt đồng và khắc được thực hiện để đạt được các thanh công xôn như thiết kế. Độ dày của mỗi lớp được đo sau mỗi bước để khảo sát chiều cao của công xôn so với nền. Tất cả các công việc trong phòng thí nghiệm và kết quả đã đạt được, sẽ được trình bày chi tiết trong báo cáo này.